纳米测量技术与微型智能仪器蒋庄德王海容王朝晖微型传感器、微型执行器和信息处理技术微电子技术发展的必然产物，是微型机械电子系统的主要研究内容之生产和生活中应用更加方便微型智能仪器具有良好的应用前景，是21世纪仪器发展的一个重要方向。对纳米测量技术和微型智能仪器的一些普遍问题、关键技术及其发展进行论述-蒋庄德教授纳米测量技术指尺度为0.的测量技术在纳米技术中，纳米测量技术、纳米加工技术和纳米结构并列为纳米技术的三大研究主题纳米测量技术的研究是纳米技术研究的重要组成部分微型智能仪器将在21世纪仪器发展中占有重要的地位，各种微型智能仪器都将发挥重要的作甩微型智能仪器可把不同的微型机械电子系收穑日期：2000-基金项目：国家自然科学基金资助项目（59775074）统（MEMS）组装在一起。它既有固定部件，又有活动部件，并向微芯片的集成化方向发展；既可以是专用仪器，又可以是通用仪器；可以是分系统的组合，也可是单独的系统可进行模块化的组合，根据不同的用途完成不同的使用要求微型智能仪器有着极其广阔的应用前景，是MEMS技术发展的重要方向之一1纳米测量技术纳米测量技术涉及传感器技术探针技术定